蔡司掃描電鏡

採用Carl Zeiss鏡片，鍍層膜高達14層，高解析度，消色差，球面差，複差*消除。
ZEISS Discovery 12x立體變焦鏡頭，高度2D光學照相的圖像處理功能。
*的同軸光照明，及8段雙色LED環形燈，紅光及藍光，因波長不一樣，可增加對焦精度。

蔡司掃描電鏡具有遠心光學系統(ecentric)，它的優點如下：
傳統鏡頭看物體會有不同投射角度，因此物體的形狀及大小會呈現失真，而不容易精確的找到特點， 不像傳統鏡頭會隨距離改變而影像大小改變，使用ecentric 鏡頭，不管物體靠近或遠離Camera，影像大小維持不變。它能降低放大誤差和增加量測景深，適合各種精密量測。
a.焦距動到也不會改變圖像的大小(不影響放大倍率)。
b.不會因物體反射率的不同，而使實的〝像〞(灰階)失真，也就是影像零失真。

使用ecentric遠心鏡頭從相同的視角來觀察顯示整個物體時，不會像用標準鏡頭3D特徵出現的透視變形和圖像位置錯誤，即使在物體的深孔，整個視野也清晰可見，在檢查3D物體或圖像形狀和位置要求精確下，使用遠心光學鏡頭ecentric是目前zui有效的選擇。
因為ecentric鏡頭為了要減少失真，讓平行光進入，所以鏡頭設計必須比較大，所以低倍率鏡頭通?？趶蕉己艽?，所需的鏡片材料成本較高，所以價格較高。

VAST XXT scanning touch probe :
採用 ZEISS VAST XXT Direkt TL1掃描式探頭系統。
量測方式 :單點或掃描式量測。
量測速度 : 單點量測 up to 2.5 s/point ， 掃描量測 200 point /s。
探針zui長可接 : 125mm，側向可接到 40mm長， 3軸皆可接探針。
採用ZEISS *設計 VAST-XXT 掃描式電子探頭
(在圓直徑及圓中心的數據都有些微偏差)。

掃描式探頭比較不易判斷錯誤

單點容易造成量測誤差